




当前,碳化硅(SiC)作为第三代半导体核心材料,在新能源汽车、光伏储能、5G通信、AI大数据、半导体先进封装、航空航天等领域快速渗透,已成为全球半导体产业的前沿制高点。在“中国制造2025计划”和“十四五”规划中均被列为重点发展领域,但我国与国际先进水平相比,在碳化硅晶体缺陷控制、生长速率提升、加工精度优化、良品率改善等关键技术环节仍存在差距,亟需通过产学研协同破解难题。
在此背景下,关键材料与制备工艺的协同创新成为突破瓶颈的核心路径之一。为加快推动我国SiC产业技术突破与成果转化,中国粉体网将于2026年5月28日在安徽·合肥举办 “第三代半导体 SiC 晶体生长及晶圆加工技术研讨会”,大会将汇聚国内行业专家、学者、技术人员、企业界代表围绕晶体生长工艺、关键原材料、生长设备及应用、碳化硅晶片切、磨、抛技术等方面展开交流探讨。
SUBJECT
SCHEDULE
碳化硅衬底市场发展现状与趋势分析
超高纯碳化硅粉体制备及高端应用
稀土助溶剂法低温快速生长3C-SiC和4H-SiC单晶以及晶型调控和溶剂夹杂抑制
待定
PVT法碳化硅晶体生長电阻式石墨加熱核心技術探讨暨解決方案
大尺寸碳化硅单晶近自由态生长方法研究
面向低缺陷、大尺寸SiC单晶生长用TaC涂层件技术难点及解决途径浅析
大尺寸碳化硅衬底高效精密磨粒加工技术进展
晶圆边缘轮廓与缺陷检测技术及装备
待定
激光剥离技术在碳化硅/金刚石衬底加工中的应用
SiC晶圆减薄砂轮制备及应用
碳化硅晶锭用高纯石墨清洁生产
GUIDE
时间:2026年5月28日
地点:安徽省合肥市
会议酒店:合肥新站利港喜来登酒店
地址:安徽省合肥市铜陵北路1666号
交通合肥站,距离酒店约4.1公里
合肥南站,距离酒店约13.0公里
合肥新桥国际机场,距离酒店约50公里