在晶圆制造材料的成本拆分中，抛光材料约占晶圆制造总成本的7%。抛光液、抛光垫等作为抛光工艺中的核心消耗品，对CeO2、SiO2、Al2O3、SiC、c-BN、金刚石等磨料及各类添加剂提出了更高要求。同时，随着蓝宝石、碳化硅、氮化镓、金刚石等新一代半导体材料的兴起，适用于硬脆材料的高端研磨抛光技术已成为全球研发的重点。
另一方面，光学材料的超精密加工也日益成为高端制造领域的关键环节。在光学领域，如透镜、窗口片、棱镜等对表面粗糙度、面形精度及亚表面损伤控制提出了近乎极限的要求。超精密研磨与抛光技术直接影响光学系统的性能与可靠性，是推动光电产业迈向高端化的重要支撑。当前，该领域正面临高端装备与材料依赖进口的局面，加快相关材料与加工技术的自主创新，已成为我国光学产业升级的迫切需求。
在此背景下，中国粉体网将于4月15-16日于郑州举办2026高端研磨抛光材料大会暨半导体与光学材料超精密加工论坛。本次大会将汇聚国内行业专家、学者、技术人员及企业代表，围绕高端研磨抛光材料、超精密加工技术、相关装备与应用等议题展开深入交流与研讨。
SUBJECT
SCHEDULE
磁流体/磁流变抛光-超精密柔性加工及挑战
蔡司显微镜之研磨抛光解决方案
纳米氧化铈复合磨粒的制 备及其在碳化硅衬底抛光中的应用
纳金刚石材料和算法在亚原子精抛中的应用
欧波同智能显微分析方案
大尺寸单晶碳化硅基片超精密平整化加工技术
稀土抛光材料及其应用研究
集成电路化学机械平坦化过程中化学助剂的作用机理研究
特种硅溶胶在CMP中的应用
片状硅酸盐矿物深加工产品 在抛光液中的悬浮效果研究
CMP抛光浆料的配方研究和稳定性评价
碳化硅晶圆多场协同抛光技术:机理、工艺与应用展望
粘土类悬浮流变剂在抛光液中的应用
MT/MPO光纤连接器端面精密抛光工艺
纳米磨料精准合成与分散--超声微反应器技术在纳米粉体与抛光液生产中的工业应用
大口径碳化硅非球面反射镜高效高精度制造技术
不同制备方式下氧化铈抛光粉形貌调控及抛光机理探讨
金刚石晶圆的多能场复合抛光理论与技术
晶圆、抛光垫与抛光液的静电相互作用评价方法
赛伍半导体CMP胶带国产化进展
CMP性能提升的挑战与路径:从材料、工艺到系统控制
大尺寸CVD多晶金刚超精密加工进展
光学原子级制造技术--超光滑抛光技术研究与应用探索
中物院机械制造工艺研究所超超光滑磁流变抛光液进展
纳米氧化铈的精准与高效制备技术
大尺寸金刚石在磨抛工艺中的形貌控制
PARTNERS
HORIBA 中国
河南路纳尔新材料有限公司
包头稀土研究院
广东惠尔特纳米科技有限公司
儒亚科技（北京）有限公司
北京久研新材料科技有限公司
湖南格善新材料科技有限公司
诺曼艾索机械技术(北京)有限公司
内蒙古科技大学
安拓思纳米技术(苏州)有限公司
深圳市叁星飞荣机械有限公司
浙江宇宏新材料有限公司
合肥宏光研磨科技有限公司
南京孚克讯新材料有限公司
河南万磨金刚石有限公司
沈阳科晶自动化设备有限公司
大昌华嘉科学仪器部
卡尔蔡司（上海）管理有限公司
丹东百特
河南盛世新材料有限公司
托科思材料科技(江苏)有限公司
漯河市泰隆超硬材料有限公司
瑞芯智造（深圳）科技有限公司
珠海欧美克
洛阳弘祥高新材料有限公司
苏州极钻纳米科技有限责任公司
北京欧波同光学技术有限公司
上海迈克孚生物科技有限公司
苏州铼铂机电科技有限公司
理研研磨科技（常州）有限公司
苏州创视智能技术有限公司
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诺泽流体科技（上海）有限公司
上海奥法美嘉生物科技有限公司
上海敦祥工贸有限公司
郑州远大电子有限公司
宣城晶瑞新材料有限公司
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北京元中锐科集成检测技术有限公司
北京拉莫尔科技发展有限公司
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珠海倍力科技有限公司
圣戈班西普磨介（邯郸）有限公司
连云港圣通仪诚土壤研磨仪器有限公司
圣华特瓷（北京）科技有限公司
德州电科新材料有限公司GUIDE
时间：2026年4月15-16日
地点：郑州天地丽笙大酒店
地址：郑州市惠济区英才街1号
交通新郑国际机场，距离酒店45公里
郑州站，距离酒店14公里
郑州东站，距离酒店20公里
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